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200 1# $aSistema de micromaquinagem volúmica do silício para fabrico de micro-estruturas$bTexto policopiado]$fDalila Alves Durães$gorient. José Higino Gomes Correia
210 #9 $aBraga$c[s.n.],$d2004
215 ## $a1 v., pág. var.$cil.$d30 cm
320 ## $aContém bibliografia
328 #0 $bTese mestr.$cElectrónica Industrial$eDep. de Engenharia de Electrónica Industrial, Escola de Engenharia, Univ. do Minho$d2004
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700 #1 $aDurães,$bDalila Alves$31226101
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